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大家都知道，在托里拆利制作的一端封閉充滿水銀的細長玻璃管就是最初的真空計雛形。根據測量的真空度范圍和使用環境，現在最常使用的真空計有電容式隔膜真空計、熱電偶真空計、熱陰極電離真空計和冷陰極電離真空計。這幾種真空計利用了不同的物理現象，其中電容式隔膜真空計利用的是力，熱電偶真空計利用的是熱傳導，電離真空計利用的是真空放電。它比真空表更加的精準。選用真空計時應該注意以下事項：
1.真空計是否會對被測的真空環境造成影響。
2.被測氣體是何種介質，是否會對真空計造成損傷。
3.在設備要求的壓力范圍內，真空計是否有足夠的測量精度，例如有的真空計測算極限只在某一個范圍內，超過了就測試不出來。
4.真空計能否實現連續測量，數值指示及反應時間是否夠快。
5.真空計所測壓力是全壓還是分壓，是否已校準，是否與氣體種類有關。
6.真空計的穩定性、可靠性及使用壽命等。 |
